材料的相容性是一个主要关注测量腐蚀性强的流体流动时，如酸。有几种选择，以保证湿材料在仪器仪表中的相处的过程流体。一些选项包括：高合金或异国情调的金属，应用化学防腐衬里的湿流路，甚至使用了完全的抗化学腐蚀的塑料工具。除了工具，提供了一种方法来测量流量，仪器提供的控制功能（如阀）也应适当考虑指定材料的相容性。
　　
　　一个次要的考虑因素，有时会忽视当指定仪器的腐蚀性液体是项目–失效模式的一个积极的流体泄漏会对人员和设备造成重大的安全风险。了解湿流程构建，以及如何处理液内含有的流程是这样的考虑关键部件。每一个线程的组件或O形圈密封的流动路径是一个薄弱环节，增加了一个积极的流体泄漏的风险，减小仪器安装的生活。
　　
　　工作时像泥浆磨蚀性流体，流动的效应称为集聚可以克服一个巨大的挑战。由于泥浆是由固体微粒悬浮在液体中的固体颗粒，团聚时存款或“丛”在一些点在流动路径。在抛光像化学机械平坦化（CMP）沉积过程，在实际的部分擦拭直接降低抛光工艺收率。类似的存款通常发生在一对其他点的流动路径，可以产生过程中的停机时间，如：管道弯头或其他部分的流动路径的流动方向的变化（包括方向的变化在仪表）或磁浮球液位计的运动部件。在一个系统中，将控制磨料流动减少这2种情况的发生是一个坚实的设计策略。
　　
　　蠕动泵是一种常见的攻击性和研磨性流体的流量控制方法。这些泵提供了一个广泛的流量控制范围，设计可以^大限度地减少团聚，也可以是由一系列积极的液体兼容的材料。用这种方法控制流量为OEM和其他一些系统设计者主要关心的是这些泵的高初始成本。幸运的是，有可供用户其他配置选项。